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授業概要
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半導体をはじめとした電子・光デバイスなどエレクトロニクスの分野では、固体表面のナノ物性の微視的計測とその解明・制御が、デバイスの性能を直接左右する重要な課題である。本講義では、固体表面のナノ物性に関する科学と技術の基礎を学ぶとともに、固体表面の物性の解明とその制御がエレクトロニクスの分野でいかに重要な役割を果たしているかを理解することを目的とする。
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到達すべき
目標
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・固体表面の原子構造、電子状態、および動的過程を学び、表面ナノ物性の基礎概念を理解する。
・固体表面のナノ物性が工学分野において果たしている役割を理解する。
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授業計画と
準備学習
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[1] 固体物性（逆格子とバンド理論）
[2] 固体物性（半導体の基礎）
[3] 表面のエネルギーと電子状態
[4] 表面電子状態と仕事関数
[5] 表面電気伝導
[6] 表面プロセス１・原子の吸着と脱離
[7] 表面プロセス２・原子の拡散と結晶成長
[8] 試験（持ち込みあり）
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授業の特色
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学生のアク
ティブ・ラー
ニングを
促す取組
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使用言語
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TA，SA配置
予定
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基盤的能力
専門的能力
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授業時間外
の学習
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成績評価の
方法
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到達度評価
の観点
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テキスト
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テキスト
(詳細)
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参考文献
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No
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書籍名
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著者名
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出版社
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出版年
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ISBN/ISSN
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1.
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『表面科学入門』
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小間篤他
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丸善
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2.
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『表面の物理』
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M. Prutton
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丸善
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参考文献
(詳細)
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1は講義のベースとしたテキストであるが、既に絶版となっている。
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担当教員実
務経験内容
または実践
的教育内容
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実践的授業
内容等
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備考
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授業の実施形態：前半4回は「対面授業」を行う。
後半3回は「遠隔授業」を行う予定だが、対面授業となる可能性がある。
各回講義前に事前にTACTを確認すること。
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