シラバス参照

開講年度 2022 
授業科目名 エネルギー変換プロセス工学 
授業科目名(英文) Energy Conversion Process Engineering 
担当教員

西田 哲

科目開講学部・学科 自然科学技術研究科 
科目区分 講義 
科目分類 専門科目 
対象学年 1年生 
開講学期・時間割・教室 後学期(前半) 火曜日 4時限 工 204
授業の形態  
単位
履修コード 2ULL00500 
備考1  
シラバスURL https://alss-portal.gifu-u.ac.jp/campusweb/slbssbdr.do?risyunen=2022&semekikn=1&kougicd=2ULL00500 
科目ナンバリング  



授業概要
様々な分野に使用される薄膜作製技術、特に気相成長法について講義を行う。関連分野である、真空工学やプラズマ工学についても扱う。 
到達すべき
目標
種々の薄膜作製法の利点、欠点を理解すること、作製された膜の評価手法について理解することを目標とする。 
授業計画と
準備学習
第1回:薄膜作製技術の概要
第2回:気相の化学反応、表面反応
第3回:PVDプロセス
第4回:CVDプロセス(1)
第5回:CVDプロセス(2)
第6回:薄膜の評価手法
第7回:真空技術
第8回:まとめ 
授業の特色
学生のアク
ティブ・ラー
ニングを
促す取組
修士課程の受講生自身の研究で、真空技術やプラズマを使用している場合、なぜ実験装置がそのような構成になっているのかを本講義を通して理解できるようにする。 
使用言語
日本語  
英語  
その他  
 
TA,SA配置
予定
基盤的能力
専門的能力
1.基盤的能力に関する重点指導項目  
進:   計画      実行      管理     
伝:   傾聴      発信      把握     
考:   課題      創造      論理     
2.専門的能力や資質・能力に関して、育成を意図する指導  
 
授業時間外
の学習
参考資料をAIMS等にアップロードするので自身の研究に関係ある場合は授業時間外に目を通しておくことが望ましい。 
成績評価の
方法
毎回の講義時に小テストを行う。その小テストと最後のレポートによって評価を行う。 
到達度評価
の観点
授業内容の理解度をレポートによって評価を行う。 
テキスト
テキスト
(詳細)
参考文献
No 書籍名 著者名 出版社 出版年 ISBN/ISSN
1. 『薄膜工学』  吉田貞史、近藤高志  丸善  2016  978-4-621-30098-5  
2. 『プラズマ半導体プロセス工学』  市川幸美、佐々木敏明、堤井信力  内田老鶴圃  2003   978-4-7536-5048-4 
3. 『はじめての化学反応論』  土屋荘次  岩波書店  2003  978-4000058346 
4. 『プラズマイオンとプロセスとその応用』  電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会  オーム社  2005  4-274-20123-6 
5. 『プラズマエレクトロニクス』  菅井 秀郎  オーム社  2000  978-4-274-13210-0 
参考文献
(詳細)
各分野の説明を行う際適宜参照することがある。 
担当教員実
務経験内容
または実践
的教育内容
実践的授業
内容等
備考
【連絡先】
[担当者] 西田 哲
 [居室]E棟107号室
 [電話] 内線2538
 [メール]snishida@gifu-u.ac.jp

【授業実施形態】対面で実施する。
・受講希望者が多く、講義室の変更などでも対応できない場合は第1回目で講義室の定員の60%を目途に抽選を行い受講制限を行う可能性がある。抽選を行うので1回目の講義には必ず参加すること。
・実施形態については岐阜大学の指針に従い変更となる可能性がある。
・AIMSをよく確認しておくこと。 


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